일반기술
대면적 스테이지의 빔 제조 방법
본 기술은 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비 등에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam)에 있어서, 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 빔을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 기술의 제1 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔 제조 방법은 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물을 제작하는 제1 단계와, 단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 구조물의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와, 구조물의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와, 금속 브라켓이 체결된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계로 구현된다
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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