일반기술
초전도 조셉슨 접합 소자 제조 방법
- 개요 본 기술은 초전도 조셉슨 접합 소자 제조 방법에 관한 것임.- 특징 초전도 조셉슨 접합 소자 제조는, 기판 위에 초전도 박막과 제 1 실리콘막을 순차적으로 형성하고 패터닝하는 단계, 패터닝에 의해 식각되고 남은 제 1 실리콘막의 상부 및 측면부에 산화막을 형성하는 단계, 산화막을 포함한 전면에 제 2 실리콘막을 형성하고, 형성한 제 2 실리콘막의 일부분을 제거하여 형성된 산화막을 노출시키는 단계, 산화막을 에칭하고, 실리콘 막에 이온을 주입하여 초전도 박막의 계면을 형성하는 단계로 이루어짐.- 효과 실리콘막과 열산화 공정을 이용하여 조셉슨 접합 계면을 형성하기 때문에 신뢰성과 재현성이 뛰어난 디바이스 형성이 가능.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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