일반기술
스퍼터링 시스템의 장주기 교체형 쉴드장치
기술의 개요 - 본 기술은 증착으로는 불가능한 고용접 금속 또는 화합물의 박막을 만드는 스퍼터링 시스템(sputering system)에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 진공상태로 유지되는 챔버와, 챔버 내에 설치되고 기판에 박막을 입히기 위하여 전압에 의해 금속 입자를 비산시키는 캐소드, 기판의 후방에 설치되고 챔버를 캐소드에서 비산되는 금속 입자로부터 7보호하는 쉴드, 쉴드가 양쪽으로 감기는 두 개의 쉴드 샤프트, 쉴드 샤프트의 끝단에 설치되고 쉴드 샤프트에 회전동력을 전달시키는 쉴드 스프로켓(sprocket)과, 쉴드 스프로켓과 연결되어 동력을 전달시키는 체인, 체인과 연결되어 회전동력을 체인에 전달시키는 전동기 스프로켓, 전동기 스프로켓에 삽입되어 고정되는 전동기 샤프트, 전동기 샤프트를 회전시키는 전동기로 구성되는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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