일반기술

400V급 고내압 전력집적회로 제조기술

<기술개요및특징>LDMOS는 기존의 MOS소자에서 낮은 농도로 도핑된 드레인을 측방으로 길게 확장시킴으로써 이 확장된 드레인 구조로 인하여 드레인에 높은 전압을 인가해도 견딜수 있는 구조를 하고 있으며, NMOS형인 LDNMOS와 PMOS형인 LDPMOS로 구성된다.전압안정기 집적회로는 조명용이나 일반 전원공급용으로 널리 활용되며, 이를 집적회로 형태로 제작하기 위하여 필요한 기술은 현재 LDMOS가 최적이고 국내 페어차일드코리아, 매그나칩반도체, 동부전자 등에서 연구개발 중에 있으나, 현재 (주)광전자에서 ETRI에 기술이전을 요청 온 상태이며, 이번 기술이전을 통하여 산업화가 확대되는 전력제어 소자에 대한 ETRI의 우수한 소자 및 공정기술을 산업체로 전파시키고, 이에 따른 기술료 수입의 극대화라는 성과를 얻을 수 있음<활성방안 및 기대성과>- 조명기용 단일칩 전압안정기 - 전자기기의 전원공급장치<기술이전범위>1.소자구조 및 설계기술 - 소자구조 및 설계데이타 - 설계된 마스크 2.제조공정 기술 - 제조공정 흐름도 - 제조공정 Recipe 3.소자 시제품 검증 - 소자 시제품 - 관련 측정 및 분석 데이타