일반기술

광 모듈레이터 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 광 모듈레이터 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 상부기판의 저면에 위치하는 제1절연층과, 상부기판 및 제1절연층에 형성된 개구부를 통해 노출되며, 일부가 제1절연층의 저면에 접합되고, 각기 선택적으로 구동되는 복수의 제1리본 및 복수의 제2리본과, 제1절연층 저면에 위치하며, 복수의 제1리본에 전압을 인가하는 복수의 리본패드와, 상부기판과 제1절연층의 개구부의 양측면에 배치 절곡되어, 복수의 제2리본에 전압을 인가하는 전원라인과, 전원라인과 복수의 제1리본을 절연하는 제2절연층과, 솔더를 통해 전원라인과 접합되는 하부전극 패드와, 하부전극 패드와 연결되며, 제1 및 제2리본의 노출된 부분에 대향하는 위치에 소정거리 이격되어 위치하는 하부전극과, 하부전극과는 소정거리 이격되어 위치하며, 그 하부전극보다 단차가 높은 스페이서와 솔더를 통해 리본패드와 연결되는 복수의 패드와, 각 구조를 지지하는 제3절연층 및 하부기판으로 구성하여 리본의 형상을 직선형으로 형성함.- 효과 응력을 분산함으로써 기계적인 특성을 안정화시킴.