일반기술
레이저 디스플레이용 공간 광 모듈레이터 소자 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 레이저 디스플레이용 공간 광 모듈레이터 소자 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 스페이서와 스탠도프가 상면에 형성된 하판과, 구동리본과 고정리본이 하면에 형성되며 중앙부에 광이 입사될 수 있도록 관통부가 형성되어 있는 상판을 박막공정을 이용하여 별도로 제작한 후, 솔더 범프를 이용하여 상판과 하판을 결합함과 아울러 전기적인 연결이 이루어지도록 제작함으로써, 박막공정을 이용하여 정밀한 광모듈레이터 소자를 용이하게 대량생산할 수 있고, 그와 같이 제작되는 광모듈레이터 소자는 하판에 형성된 스페이서에 의해 구동리본과 고정리본이 항상 일정높이로 유지되고, 스탠도프에 의해 구동리본의 동작시 스틱션현상이 방지됨.- 효과 안정되고 신뢰성있는 소자를 제작할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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