일반기술
공간 광 모듈레이터 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 공간 광 모듈레이터 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 멤브레인형 기판의 중앙부에서 상하부면이 노출되며, 기판에 평행한 평면구조이며, 실리콘 질화막과 금속이 적층된 리본과, 리본에 선택적으로 접지전압 또는 구동전압을 인가하는 제1 및 제2전극과, 전극중 접지전압을 인가하는 전극에만 선택적으로 연결되며, 리본의 상부측으로 소정거리 이격된 브리지형의 도금층 접지전극을 포함하여 구성되는 공간 광 모듈레이터를 표면 미세 가공 기술과 벌크 미세 가공 기술을 혼합 사용하여 제조하여, 공간 광 모듈레이터에서 광을 반사하는 리본을 브릿지형이 아닌 기판과 평행한 평면형으로 형성함.- 효과 구동시 응력이 집중되는 것을 방지하여 기계적인 안정성 및 신뢰성을 향상시킴.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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