일반기술

광모듈레이터 소자 및 생산방법

- 개요 본 기술은 광모듈레이터 소자에 관한 것임.- 특징 기판을 관통하여 형성된 광도입구를 구비한 구동판과, 광도입구 상단에 걸치도록 양단이 구동판에 고정되며, 광도입구를 통해 입사된 빛을 반사하도록 반사막으로 구성된 고정리본과, 광도입구 상단에 걸치도록 양단이 구동판에 고정되며, 고정리본과 일정한 간격을 두고 교대로 설치되며, 도전성막과, 광도입구를 통해 입사된 빛을 반사하도록 하는 반사막으로 구성된 구동리본과, 도전성막에 전기를 가할 수 있도록 구동리본에 연결되어 형성된 구동리본 전극패드와, 고정리본 및 구동리본 상단에 일정한 간극을 두고 설치된 전극판과, 전극판에 전기를 가하는 전극을 구비한 접지판과, 구동판과 접지판 사이에 간극을 유지하도록 설치된 스페이서를 포함하여 구성됨.- 효과 구동리본이 기판과 동일 평면상에 이루어져 구조적으로 안정하다. 따라서, 제조시 수율을 높일 수 있고, 대량생산이 용이하여 제조단가를 낮출 수 있다. 또한, 접지판과 구동리본 사이의 간극을 스페이서를 이용하여 원하는 높이로 조절이 가능함.