일반기술
마이크로-미러 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치
본 기술은 고밀도 광 기록 매체의 광 픽업 장치에 관한 것으로, 특히 광선 위치 제어 및 광 신호 검출을 위한 마이크로-미러(micro-mirror) 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치에 관한 것이다.- 특징광 부품인 미러, 광 신호 검출 포토다이오드, 광선 위치 조절기를 일체화/집적화 함으로써, 광학계의 크기를 초소형화할 수 있고, 실리콘 반도체 일관 제조 공정과 마이크로머시닝 기법을 이용하여 제작함으로써, 제품 단가를 절감하며, 제작된 소자간의 균일도를 향상시키고, 광학 부품 수를 절약할 수 있고, 광학계 부품 조립 공정을 대폭 감소시킨다.평행 구동 미세 액튜에이터를 이용하여 광선의 위치 조절을 나노미터 수준으로 제어할 수 있고, 동시에 위치 제어한 광선으로 판별할 수 있는 광 매체의 정보를 집적된 포토다이오드를 이용하여 판독할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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