일반기술
자성코어를 이용한 유도결합 플라즈마 발생 장치
본 기술은 플라즈마를 발생하는 챔버, 챔버의 외측에 일정 간격으로 다수개 설치되며, 입출력이 챔버와 연통되도록 루프를 형성하는 다수개의 루프관, 루프관과 챔버의 경계에서 각 루프관을 완전하게 둘러싸는 자성코어 및 각 루프를 통하여 흐르는 전기장을 유도하는 자기장을 생성하도록 자성코어 전체에 직렬로 권취되는 안테나를 포함하는 유도결합 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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