일반기술
포토마스크의 표면 검사장치 및 방법
- 개요 본 기술은 포토마스크의 표면 검사장치 및 방법에 관한 것임.- 특징 일면이 관측가능한 투명부재로 형성되어 밀폐된 프레임과, 프레임 내부에 설치되어 포토마스크가 장착되는 포토마스크 장착테이블과, 포토마스크 장착테이블로 광을 조사토록 프레임의 내측에 설치되고 광량 조절이 가능한 제 1조명기구와, 프레임의 외측에 설치되고 광의 조사각을 자유롭게 조절가능한 제 2조명기구를 포함하여 구성됨.- 효과 검사자 및 대기중에 포함된 이물질로 인한 2차오염이 방지되고, 광량의 조절 및 빛의 산란각도를 자유롭게 조절할 수 있어 검사신뢰성을 증가시킴은 물론 검사가 용이함으로 작업시간이 단축됨.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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