일반기술
전계 방출 소자의 제조방법
- 개요 본 기술은 터널 절연막의 손상을 최소화시킬 수 있는 전계 방출 소자의 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 하부전극을 형성하는 단계와, 하부전극의 중앙에 포토레지스트패턴을 형성한 후 하부전극 양측 상에 절연층을 형성하는 단계와, 하부전극과 수직한 방향으로 상부버스전극을 형성하는 단계와, 상부버스전극을 덮도록 오버행 절연층을 형성하는 단계와, 포토레지스트패턴이 노출되도록 전계방출공을 형성하는 단계와, 포토레지스트패턴을 제거하여 하부전극을 노출시키는 단계와, 전자가 에미션될 하부전극 상에 터널 절연막을 형성하는 단계와, 전자가 에미션될 부분 상에 상부전극을 형성하는 단계를 포함함.- 효과 터널 절연막의 손상을 최소화시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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