일반기술
질화갈륨 기판 제조 장치 및 방법
- 개요 본 기술은 질화갈륨 기판 제조 장치 및 방법에 관한 것임.- 특징 액체화된 갈륨내부로 HCL가스가 통과되도록 반응챔버를 형성하고, 이 반응챔버에서 HCL가스를 갈륨에 통과시켜 반응시킴.- 효과 NH 4 CL의 생성을 감소시킬 수 있고, 더불어 특성이 우수한 질화갈륨 기판을 제조할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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