일반기술
광조사 장비의 램프 하우스 시스템
기술의 개요 - 본 기술은 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 인쇄회로기판(PCB), 반도체와 같은 전자장치의 기판상에 유기물을 제거하거나 표면 개질을 위한 광조사 장비에 관한 것이다.기술의 효과 - 본 기술은 기판상의 제거된 유기물이 램프를 오염시키는 것을 방지하는 오염방지창의 표면에 투명도전막을 추가 설치하여 제거된 유기물들이 오염방지창에 부착되는 것을 방지함으로써, 오염방지창을 별도로 청소할 필요가 없어지므로 장비의 유지관리 주기가 늘어나 생산성이 향상될 뿐만 아니라 기판상의 유기물을 균일하게 제거할 수 있고, 공정의 안정화 및 수율의 향상을 도모할 수 있는 효과를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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