일반기술
고온초전도 조셉슨 접합 소자 제조 방법
- 개요 본 기술은 초전도체에 관한 것으로, 특히 아주 얇은 계면막을 형성하는 고온초전도 조셉슨 접합 소자 제조에 관한 것임.- 특징 고온초전도 조셉슨 접합 소자 제조는 기판 위에 초전도 박막을 증착하고, 패터닝하는 단계와, 기판과 초전도박막 위에 마이크로렌즈 대체 물질인 광학 유리를 형성하고 패터닝하는 단계와, 광학 유리에 열처리를 하는 단계와, 기판 전면에 이온을 주입시켜 계면을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐.- 효과 이온을 주입하므로 일반 반도체 공정처럼 쉽게 계면을 형성할 수 있고, 회로 구성이 매우 용이하여, 대면적 적용이 가능한 효과가 있다. 공정 또한 매우 용이하게 진행할 수 있는 효과가 있음
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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