일반기술

ＤＮＡ 칩 제작용 마스크 및 그를 이용한 ＤＮＡ 칩 제조방법

본 기술은 DNA 칩에 관한 것으로, DNA 칩 제작용 마스크 및 그를 이용한 DNA 칩 제조방법에 관한 것이다.- 특징셔터가 집적된 본 광 마스크는 DNA 칩을 제작시 발생하는 고비용의 문제를 획기적으로 개선시켜 줄 뿐만 아니라, 연구용 목적으로 사용이 가능한 기존의 마이크로어레이(microarray) 기술보다 집적도 및 그 정확도에서 상당한 장점이 있으므로 마이크로어레이 기술을 이용한 칩 제작 기술을 상당 부분 대체가 가능하다.광 마스크에 내장된 많은 수의 빔 셔터는 반도체 제작 기술 중의 하나인 미세가공기술(MEMS)의 발전 속도에 따라 크게는 수십 마이크론에서 작게는 수 마이크론 이하의 크기로도 제작이 가능하다.정전기력을 이용한 콤 드라이브 뿐만 아니라, 온도 변화에 따라 변위가 발생하는 형상기억합금, 압전 물질의 변위를 이용한 압전 액츄에이터, 액정물질을 이용한 액정 셔터 등의 광원 차폐형 빔 셔터 등을 이용하여 본 발명의 영역을 확장할 수 있다.