일반기술
질화물 반도체 및 그 제조 방법
본 기술은 질화물 반도체의 기판 제조 방법에 관한 것으로, 특히 단파장용 광소자 제작을 위한 질화물 반도체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.- 특징소자 제작을 위한 질화물 반도체막으로 형성되는 프리 스탠딩 기판의 제작 시에, 사파이어 기판의 하부에 기판과 질화물 반도체막의 격자 상수 및 열팽창 계수의 차이에 의해 발생되는 구부러짐을 상쇄시키기 위한 평형층(counterbalancing layer)을 성장시킴으로써, 크랙(crack)과, 박막의 비평탄화와, 구부러짐(banding)이 없는 질화물 반도체막을 성장시키기 때문에 소자의 성능을 개선하고, 소자 제작시 수율을 높인다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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