일반기술
전계 방출 소자 및 제조 방법
- 개요 본 기술은 전계 방출 소자에 관한 것으로, 특히 MIM(METAL INSULATING METAL) 제작 시 최상부 전극의 단선을 방지하며 상부 전극과 하부 전극간의 절연성을 높여 전계 방출 소자의 신뢰성을 향상시키는데 적당하도록 한 전계 방출 소자 제조 및 방법에 관한 것임.- 특징 상부 전극과 필드 절연막을 동시에 식각하기위해 물질들 각각에 대한 식각 가스들을 동시에 사용하며, 상부 전극의 식각 속도가 필드 절연막 식각 속도보다 빠르게 하여 필드 절연막의 측면 경사가 낮아지면서 상부 전극과 완만한 연속 경사를 이루도록 함.- 효과 상부에 형성될 최상부 전극의 단선을 방지하고 절연막의 두께에 의한 영향을 줄여 소자의 신뢰성을 개선할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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