일반기술
갭 센서 및 얼라인 카메라가 일체로 된 노광기
본 기술은 노광기의 핵심 부품인 갭 측정 장치 및 얼라인 장치를 일체로 구현하여 상기 갭 측정장치 및 얼라인 장치의 구동수단을 하나로 사용함에 따라 장치를 단순화 시켜 제조코스트를 절감시킴은 물론 무진실 사용 공간을 축소 시켜 무진실 유지비를 절감시키고, 장치 보수비용을 감소시키는 갭 측정 장치 및 얼라인장치가 일체로 된 노광기에 관한 것이다.- 특징하나의 CCD카메라를 사용하여 원판 및 대상물간의 거리 측정 및 얼라인을 가능토록 하여 구동회로 및 기구적인 장치 뿐만 아니라 입출력 장치에 따른 부가적인 장치를 간단하게 하여 제조 코스트를 다운시킴은 물론 무진실을 차지하는 공간을 축소시켜 상기 무진실 유지비를 감소시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.