일반기술
플라즈마 표시소자용 미세배선 보호층 제조방법
본 기술은 플라즈마 표시소자용 미세배선 보호층 제조방법에 관한 것이다.- 특징무전해도금법을 실시함에 의해 팔라듐 촉매층이 형성된 미세배선 주위에만 니켈 또는 니켈합금을 선택적으로 형성시킨다.감광성 은 전극법의 경우에는 후막화가 어려우나 본 발명에 의하면 짧은시간에 후막화가 가능하다.에너지 산란 전자분광법에 의해 배선의 계면에서의 확산을 살펴본 결과 구리전도층의 대부분은 그대로 유지됨이 확인되었고 니켈층으로의 구리의 확산은 일어나고 합금화가 진행되었다. 그러나, 표면층인 보호층의 산화 및 유전체로의 확산은 거의 일어나지 않으므로 이것을 전극용으로 이용하는 것은 차후의 고화질화 및 방전효율 향상에 큰 도움이 되며 또한, 미세배선의 형성에도 도움이 된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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