일반기술
비휘발성 폴리머 메모리 소자의 특성을 향상시키기 위한 수분투과 억제층 형성 방법
본 기술은 폴리머 비휘발성 메모리 소자의 소자간 절연 특성이 우수하며 전도성 폴리머의 열화 특성을 방지할 수 있는 외부 산소 및 수분의 차단 보호막을 원자층 증착법으로 저온에서 형성하게 하는 비휘발성 폴리머 메모리 소자의 특성을 향상시키기 위한 수분투과 억제층 형성방법을 제공하는데 그 특징이 있다.또한, 본 기술은 기존의 화학 기상 증착이나 물리적 기상 증착 방법을 통한 투습층 형성과는 다른 금속 산화막의 저온 증착에 의해 유기물을 주재료로 하는 미세한 구조를 지닌 반도체 유기 소자와 같은 단차가 큰 구조물의 투습층을 형성하게 하는 비휘발성 폴리머 메모리 소자의 특성을 향상시키기 위한 수분투과 억제층 형성방법을 제공하는데 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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