일반기술
정전기력을 이용한 마이크로 스위치 및 제조 방법
본 기술은 전자 시스템에 관한 것으로, 특히 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 구동되는 마이크로 스위치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.- 특징저전압을 이용해서 구동되고, 건식 에칭 처리를 이용하기 때문에 수율이 높고, 도금한 금속 피막(electroplated metallic film)을 이용하기 때문에 높은 전류의 전달이 가능하여 전력용으로도 사용할 수 있다.고주파 대역에서 군대용으로 또는 무선 통신 시스템, 이상기(phase shifters), 안테나 튜너, 수신기, 송신기, 페이지드 어레이 안테나(phased array antennas)와 같은 상업용 등에서 효과를 나타낸다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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