일반기술
적층형 볼로메터 센서 및 제조 방법
본 기술은 적외선 감지 센서에 관한 것으로, 특히 적층형 구조를 가지는 적층형 볼로메터 센서에 관한 것이다.- 특징적외선 감지소자와 보상소자를 동일면적 상에 형성하여 두 소자간에 열적 균형을 같게 함으로써 주위 환경변화에 대한 보상을 정확히 할 수 있다.적외선 감지소자와 보상소자가 상, 하로 적층된 구조로 되어 있어서 소자 제작의 집적도를 높여 제조 단가를 낮출 수 있다.열전도가 낮은 폴리이미드를 멤브레인으로 사용하여 센서의 감도를 높일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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