일반기술
압저항 센서가 구비된 압전 캔틸레버
- 개요 본 기술은 압저항 센서가 구비된 압전 캔틸레버에 관한 것임.- 특징 제 1 실리콘층, 실리콘 산화막과 제 2 실리콘층으로 이루어진 실리콘 지지대와, 제 2 실리콘층의 일측 하부가 식각되어, 부상된 캔틸레버부와, 제 2 실리콘층의 상부에 형성되어 있는 실리콘 질화막의 상부에 형성된 하부전극, PZT막과 상부전극으로 이루어진 압전 캐패시터와, 제 2 실리콘층에 형성되며, 실리콘 질화막을 관통하여 전극단자에 연결된 하이 도핑된 영역과, 하이 도핑된 영역에 형성된 압저항 센서와, 캔틸레버부의 제 2 실리콘층 가장자리에 형성된 팁으로 구성됨.- 효과 압전 캔틸레버에 압저항 센서를 형성하여, 압전 박막의 히스테리시스(HYSTERESIS)나 크립(CREEP)의 비 선형성에 의하여 시료의 표면형상이 왜곡되는 것을 보정할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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