일반기술
마이크로사이즈 금속 식각가공 장치 및 그 가공방법
본 기술은 마이크로사이즈 금속 식각가공 장치 및 그 가공방법에 관한 것으로, 금속 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 단계, 포토레지스트를 노광하는 단계, 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴이 형성된 금속 기판에 전기를 인가하여 전기화학적 방법을 이용한 식각을 수행하여 금속을 식각하는 단계 및 금속 기판 상에 잔존하는 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 금속의 미세 가공 방법에 대한 것이다본 기술은 다양한 금속에 대해 사용할 수 있고, 사이드 에칭을 최소한으로 하여 금속 기판 상에 형성되는 미세 구조물의 정밀도와 표면 조도를 향상시키며, 공정을 단순화하여 금속 가공을 효율적으로 수행할 수 있도록 할 수 있다는 점에서 종래기술과 차별된다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.