일반기술
CNT 네트워크 박막이 구비된 압력 센서 소자, 이의 제작방법 및 이를 포함하는 센서
본 기술은 CNT 네트워크 박막이 구비된 압력 센서 소자, 이의 제작 방법 및 이를 포함하는 압력 센서에 관한 것으로 기판, 기판 상에 패터닝되어 형성된 CNT 네트워크 박막, CNT 네트워크 박막의 양 말단과 접촉하여 형성된 제1 및 제2 전극 및 CNT 네트워크 박막 상에 제1 및 제2 전극과 접촉하도록 위치하고, CNT 네트워크 박막과 소정 두께의 갭(gap)이 존재하도록 형성된 버퍼막을 구비하는 CNT 네트워크 박막이 구비된 압력 센서 소자, 이의 제작 방법 및 이를 포함하는 압력 센서에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-03-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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