일반기술
전계방출소자 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 음극이 형성된 하판과, 양극이 형성된 상판과, 상판과 하판의 간격을 유지하는 스페이서를 포함하는 전계방출소자에 있어서, 하판과 스페이서 사이에서 음극과 스페이서를 절연하는 절연막을 비정질 실리콘층을 포함하도록 구성되는 전계방출소자를, 하판과 상판을 각각 형성하고, 그 하판과 상판의 사이에 스페이서를 위치시킨 후, 봉지하는 과정을 포함하는 전계방출소자 제조방법에 있어서, 하판과 스페이서 사이의 절연막은 비정질 실리콘을 스퍼터링법으로 증착하여 형성하는 제조방법을 사용하여 형성함으로써, 음극과 스페이서 사이에 절연을 위해 비정질 실리콘을 사용함.- 효과 저온공정인 스퍼터링법으로 절연막을 형성하는 경우에도 잔류응력의 증가를 방지하여, 전계방출소자의 전자방출특성의 안정성을 증가시키는 효과와 아울러 막의 수명을 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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