일반기술
평면형 전계방출소자 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 평면형 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판의 상부에 하부전극을 형성하고, 그 하부전극의 측면부에 필드절연막을 형성하는 단계와, 필드절연막의 사이 하부전극상에 터널링 절연막을 형성하는 단계와, 상부전극패드 및 상부전극버스를 순차 형성하는 단계와, 상부전극패드 및 상부전극버스의 상부에 비정질 실리콘 오버행 절연막을 형성하는 단계와, 오버행 절연막을 마스크로 하여 터널링 절연막상에 상부전극을 형성하는 단계를 통해, 그 오버행 절연막을 비정질 실리콘으로 형성함.- 효과 하지막에 미치는 잔류응력을 줄여 소자의 수명을 연장하는 효과와 아울러 그 평면형 전계방출소자의 동작 신뢰성을 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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