일반기술
박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 환경 센서
- 개요 본 기술은 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 환경 센서에 관한 것으로, 특히 상하부 전극과 압전층으로 이루어진 압전 커패시터(FBAR)에 흡착제(ADSORBENT)층 및 히터층을 더 구성하여 흡착층에 흡착되는 대기 오염물질로 인한 공진 주파수의 편의로 오염 정도를 정밀하게 측정할 수 있도록 한 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 환경 센서에 관한 것임.- 특징 흡착제층을 이용하여 공해 물질을 흡착시키고 히터로 공해 물질의 흡/탈착을 유도하여 공진 주파수의 차이를 통해 기존의 가스 센서 구조에서 감지하지 못하는 분진 및 다이옥신 등의 고분자 물질의 농도를 측정하도록 한 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 환경 센서를 제공함.- 효과 센서를 반 영구적으로 사용할 수 있으며, 우수한 측정 감도, 빠른 응답 시간, 높은 생산성 및 비용 절감을 달성할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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