일반기술

마이크로 수동소자의 제조 방법

본 기술은 마이크로 수동소자에 관한 것으로, 특히 고주파용 마이크로 인덕터 수동소자의 제조 방법에 관한 것이다.- 특징감광성 유리(photosensitive glass) 기판과 일정거리를 두거나 감광성 유리(photosensitive glass) 기판을 부분적으로 제거하여 인덕터 소자를 형성하기 때문에 감광성 유리(photosensitive glass) 기판으로부터 발생되는 기생용량, 유전체 손실, 그리고 전도성(conductive) 손실 등과 같은 나쁜 영향을 줄일 수 있고, 그에 따라 인덕터의 성능을 향상시킬 수 있다.값비싼 Au을 기판 상에 두껍게 형성하지 않고, 또한 감광성 유리(photosensitive glass) 기판의 가격이 현재 집적화된 마이크로 인덕터를 제작하기 위해 사용되는 다른 기판보다 저렴하기 때문에 저가의 집적 인덕터를 제조할 수 있다.전기도금을 이용하여 높은 전도성을 갖는 두꺼운 구리를 사용하기 때문에 낮은 DC 저항을 가지고 집적화를 할 수 있다.인덕터 코어의 교차 구간(cross-sectional) 영역을 크게 형성할 수 있어서 높은 인덕턴스를 얻을 수 있다.