일반기술
유기 소자의 보호막 제조방법
본 기술은 유기 소자의 보호막 제조방법에 관한 것으로, 유기 소자의 표면에 유기금속 소스를 흡착시키는 단계, 흡착되지 않은 유기금속 소스를 제거하기 위해 불활성 가스를 주입하는 단계, 산소를 포함하는 소스와 플라즈마를 주입하여 유기금속 소스 내 금속과 반응시켜 유기 소자의 표면에 금속 산화물층을 형성하는 단계, 금속 산화물층을 형성하지 않은 잔류 유기금속 소스를 제거하기 위해 불활성 가스를 주입하는 단계 및 형성된 금속 산화물층을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는 유기 소자의 보호막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 막 밀도가 우수하고 소수성을 나타내 외부로부터 소자 내부로 침투하는 산소, 수분 또는 불순물의 투과를 억제하여 유기 소자의 수명을 높일 뿐만 아니라, 단차가 큰 구조를 지닌 소자에도 적용될 수 있다는 점에서 종래기술과 차별된다.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 화학
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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