일반기술
ＳＩＬ 모듈 및 그 제조방법
본 기술은 근접장 광학계에 사용되는 SIL(solid immersion lens) 모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징광학계의 회절 한계를 극복하여 광학적으로 판별할 수 있는 형상의 크기를 대폭 줄임으로써, 광 정보 저장 장치에 응용하여 고밀도 광 정보 저장 장치를 구현할 수 있자체 구동기가 일체화되어 광축 정렬 오차 등을 능동적으로 보정하여 해상도를 제고할 수 있고, 근접장 영역의 초미세 간극을 유체역학적으로 유지할 수 있도록 에어-베어링 서페이스를 집적화하여 근접장 광학계의 부품 수를 줄이며, 간극 유지 정밀도를 향상시킴으로써, 근접장 광학계의 신뢰도 향상에도 기여하게 된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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