일반기술

탐침 현미경의 리소그래피 장치 및 방법

<기술의 개요>본 기술은 샘플의 위치 정보를 입력받아 사용자가 지정한 위치에서 나노 구조물 제조에 필요한 신호를 생성하는 탐침 현미경의 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로, 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 입력부와 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 제어 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하여 출력하는 출력제어부를 포함하는 탐침 현미경의 리소 그래피 장치에 대한 것이다.<기술의 특징>본 기술에 따르면 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 디지털 또는 아날로그 샘플의 위치정보를 입력받고, 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 디지털 또는 아날로그 샘플의 위치정보를 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하여 출력함으로써, 사용자가 원하는 위치에서 나노 구조물 제조를 위한 신호를 생성할 수 있다.