일반기술
표면 개질된 기판을 이용한 유-무기 복합 박막의 제조방법
본 기술은 표면 개질된 기판을 이용한 유-무기 복합 박막의 제조방법에 관한 것으로 a) 챔버 내 기판을 로딩하는 단계 b) 기판 표면을 챔버 내에서 UV/O3 처리하여 표면을 개질하는 단계 c) 표면 개질된 기판 상에 원자층 증착법으로 무기 박막을 형성하는 단계d) 무기 박막 상에 자기조립 단분자막 형태의 유기 박막을 형성하는 단계를 포함하는 표면 개질된 기판을 이용한 유-무기 복합 박막의 제조방법에 관한 것이다.본 기술에 의해 UV/O3 처리를 통해 기판의 표면을 개질하여, 실리콘 기판 뿐만 아니라 고분자 기판 상에도 유-무기 복합 박막을 단시간 내 형성시킨다.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 화학
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.