일반기술
초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법, 및 이로써 얻어진 Mo 스퍼터링 타겟
본 기술은 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법 및 이로써 얻어진 Mo 스퍼터링 타겟에 관한 것으로 원료 분말로 나노 크기의 Mo 분말을 이용하여 스퍼터링 타겟을 제조시, 고온에서 단시간 및 저온에서 장시간에 걸친 2단 소결 공정을 수행하는 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법 및 이로써 얻어진 Mo 스퍼터링 타겟에 관한 것이다.본 기술은 원료 분말로 나노 크기의 Mo 분말을 이용하여 스퍼터링 타겟을 제조시, 고온에서 단시간 및 저온에서 장시간에 걸친 2단 소결 공정을 수행하는 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법을 제공한다.또한 본 기술은 상기 방법으로 제조된 Mo 스퍼터링 타겟을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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