일반기술
질화갈륨 기판 제조방법 및 그 제조를 위한 시스템
본 기술은 질화갈륨 기판 제조방법 및 그 제조를 위한 시스템에 관한 것으로, 특히 질화갈륨 후막이 성장된 사파이어 기판이 고온을 유지하도록 하여 온도 하강으로 인한 크랙이 발생하지 않고, 기판의 휘어짐이 없는 질화갈륨 기판 제조방법 및 그 제조를 위한 시스템에 관한 것이다.- 특징질화갈륨 후막이 성장된 사파이어 기판을 고온을 유지한 상태에서 질화갈륨 후막과 사파이어 기판을 분리해냄으로써 크랙(crack)의 발생을 방지할 수 있다.질화갈륨이 성장되는 고온에서 사파이어를 분리해냄으로써 사파이어 기판이 붙어 있는 상태에서 급격한 온도 하강으로 인한 질화갈륨의 벤딩(bending)을 방지할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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