일반기술

산 첨가에 의한 고밀도 나노 입자 형성 방법과 이를 이용한 나노 입자 및 소자

본 기술은 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 형성하는 방법에 관한 것으로 절연체 내부에 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 형성하는 방법, 이를 이용한 나노 입자 및 다양한 소자와 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 나노 입자 형성 방법에서는 절연체 전구체, 금속 분말 및 산(acid)이 첨가된 혼합물을 기판 상에 도포하여 막을 형성한 다음, 이 막을 큐어링하여 절연체 내부에 포함된 나노 입자를 형성한다. 또는 기판 위에 증착된 금속 박막 위에 산을 첨가한 절연체 전구체를 도포하여 막을 형성한 다음, 이 막을 큐어링하여 절연체 내부에 나노입자를 형성시킬 수 있다. 본 기술에 따르면, 산 첨가에 의해 종래보다 고밀도의 나노 입자를 형성시킬 수 있다. 본 기술에 따른 나노 입자 형성 방법의 일 태양은 절연체 전구체, 금속 분말 및 산(acid)이 첨가된 혼합물을 기판 상에 도포하여 막을 형성하는 단계 및 막을 큐어링하여 절연체 전구체로부터 절연체를 형성하고 절연체 내부에 금속 분말로부터 나노 입자를 형성하는 단계를 포함한다.