일반기술
노광장치의 이송식 기판 스테이지
- 개요 본 기술은 자외선을 이용하여 테이프기판에 패턴을 형성하는 노광장치에 관한 것임.- 특징 노광장치의 이송식 기판 스테이지는 베이스와, 베이스의 상면에 투입되는 테이프 기판의 양측단부를 상하 방향으로 구속하며 이동시키는 이송장치와, 테이프 기판의 크기 변화에 따라 이송장치가 테이프 기판의 양측단부를 정확한 위치에서 구속하도록 이송장치를 테이프 기판의 폭방향으로 좌우 이동시키는 간격조정장치와, 이송장치 및 간격조정장치에 의해 테이프기판이 정확한 위치로 공급되면 테이프기판의 위치를 고정시켜 노광 작업을 행할 수 있도록 베이스의 상면에 설치되는 진공판이 포함되어 이루어짐.- 효과 노광 작업의 대상물인 테이프기판을 이송하고, 다양한 크기의 대상물을 노광 작업 전에 정확한 위치에 배치시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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