일반기술

섀도우 마스크 검사 장치 및 방법

- 개요 본 기술은 섀도우 마스크 검사 장치 및 방법에 관한 것임.- 특징 섀도우 마스크를 촬상하는 카메라와, 카메라에 의해 촬상된 영상을 평균화하고, 평균화된 영상이 다수개의 비율에 따라 축소 후 촬상된 영상에 대하여 가로 방향 및 세로 방향으로 재배치하고, 재배치된 가로 방향 및 세로 방향의 축소 영상을 컨벌루션 필터를 통해 컨벌루션하여 섀도우 마스크의 결함을 검출하는 영상 처리부를 포함하여 구성됨.- 효과 섀도우 마스크의 면적 결함 검사시 검사자의 주관이 개입되지 않아 정량화된 검사가 이루어질 수 있기 때문에 섀도우 마스크 품질의 일관성을 유지할 수 있고, 섀도우 마스크의 크기에 따라 다른 비율로 축소된 가로 방향 및 세로 방향의 축소 영상을 컨벌루션하여 면적 결함을 검사하기 때문에 다양한 크기를 가지는 섀도우 마스크의 면적 결함 검사시 하나의 컨벌루션 필터를 공용으로 사용할 수 있기 때문에 면적 결함 검사에 소요되는 시간이 감소됨.