일반기술
박막 EL 표시소자의 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 박막 EL 표시소자의 제조방법에 관한 것이다.기술의 개요 - 투명유리기판과 투명전극, 제1절연층, 형광층, 제2절연층 및 배면전극을 순차로 적층된 박막 EL 표시소자의 제조방법에 있어서, 스퍼터링 챔버내에 산소가스와 이르곤 가스를 주입하고 A1을 타게트로 하여 형광층상에 반응성 스퍼터링을 행하되 챔버 내의 인가전압을 조정하여 소정의 증착률을 갖도록 코팅하여 AL2O3막의 제2절연층을 형성하고, 제2절연층 형성후 즉시 산소가스의 주입을 차단하고, 제2절연층 형성시 사용된 A1 타게트로서 A1 금속 배면전극을 형성함으로써 제2절연층과 배면전극을 동종원소 결합구조로 하는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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