일반기술
전계 방출 표시장치의 포커싱 소자의 제조방법
본 기술은 전계 방출 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히 에미터의 손상과 팁영역의 오염을 최소화하도록 한 전계 방출 표시장치의 포커싱 소자의 제조방법에 관한 것이다.- 특징게이트전극 상에만 선택적으로 산화물계 절연물질이 스크린 프린트되거나, 폴리이미드 대신 에칭이 용이한 포토레지스트 후막이 도포된 후, 포커싱 절연층과 포커싱전극이 형성됨으로써 에미터의 손상과 팁영역의 오염을 최소화할 수 있다.스크린 프린트법을 이용하여 포커싱 절연층과 포커싱전극을 형성함으로써 공정을 단축하고 식각공정이 생략될 수 있게 될 뿐 아니라 재료낭비를 최소화시키고 수율을 높일 수 있다.스크린 프린트법을 이용하여 포커싱 절연층과 포커싱전극을 형성함으로써 공정을 단축하고 식각공정이 생략될 수 있게 될 뿐 아니라 재료낭비를 최소화시키고 수율을 높일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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