일반기술

반응물주입을 위한 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 갖는 고주파 유도결합 플라즈마 토치

본 기술은 유도결합 플라즈마의 응용에 있어서, 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 도입함으로써 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입이 가능하며, 일부 부품의 교체를 통해 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능한 고주파 유도결합 플라즈마 토치를 제공한다.ㅇ 기술 개발 효과 및 특징: 본 기술은 모듈형 수랭식 주입기와 다단식 노즐 구조를 갖는 고주파 유도결합 플라즈마를 제공함으로써, 유도결합 열플라즈마의 응용에 있어서 가둠관 내부의 플라즈마 고온부와 노즐을 통과하는 플라즈마에 효율적인 반응물 주입 방법을 제공하고, 일부 부품의 교체를 통해 각 공정에 최적화된 반응물 주입 방법과 열플라즈마의 제공이 가능하므로, 최근 증가하고 있는 열플라즈마 수요의 다양한 공정에 효과적으로 이용될 수 있다.