일반기술
대면적 강유전체 에피박막 성장장비
- 할로우 캐소드 스퍼터링 시스템 설계 및 제작기술 - 할로우 캐소드 스퍼터링 시스템 컴퓨터 제어기술 - 대면적 강유전체 에피박막 성장기술무선통신 부품의 핵심소재인 대면적 강유전체 에피박막 성장에 활용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 한국전자통신연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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