일반기술

박막 필름 벌크 오코스틱 공진기 및 필터 제조 방법

- 개요 본 기술은 박막 필름 벌크 오코스틱 공진기(FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR, 이하 FBAR이라 칭함) 및 필터에 관한 것으로, 특히 차세대 이동통신 단말기에 적용되는 FBAR 및 필터 제조시 ALN 박막을 과다 식각 및 하부 전극 손실 없이 식각하는데 적당하도록 한 박막 FBAR 및 필터 제조 방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 차례로 하부 전극, 압전 유전체, 접착성 박막 금속층을 형성한 후 포토레지스트 패턴을 적용하는 단계와, 포토레지스트 패턴에 따라 노출된 접착성 박막 금속층을 제거한 후 포토레지스트 및 접착성 박막 금속층으로 이루어진 패턴에 따라 노출된 압전 유전체를 하부 전극이 드러나기 전까지 건식 식각 방법으로 식각하는 단계와, 노출된 압전 유전체의 나머지 부분을 습식 식각 방법으로 식각하는 단계와, 잔류하는 포토레지스트 및 박막 금속층을 제거하는 단계를 포함함.- 효과 FBAR 및 필터 제조 방법을 제공하여 ALN 박막의 과다 식각 및 하부 전극 식각을 방지함으로써 FBAR 및 필터의 공정을 용이하게 하며, 수율을 높일 수 있음.