일반기술

다중모드 간섭형 광도파로를 이용한 광스위치 및 제조방법

- 개요 본 기술은 다중모드 간섭형 광도파로를 이용한 광스위치 및 제조방법에 관한 것임.- 특징 중간부에 형성되는 다중모드간섭영역과, 다중모드간섭영역의 양단에서 바깥쪽으로 벌어지도록 경사지게 절곡 형성된 연결부와, 연결부에서 절곡되어 다중모드간섭영역과 평행하게 형성되는 양단부를 가지며, 기판에 고정 설치되는 고정 광도파로와, 고정 광도파로와 좌우 대칭형으로서, 중간부에 형성되는 다중모드간섭영역과, 다중모드간섭영역의 양단에서 바깥쪽으로 벌어지도록 경사지게 절곡 형성된 연결부와, 연결부에서 절곡되어 다중모드간섭영역과 평행하게 형성되는 양끝단부를 가지며, 기판에 고정 광도파로에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 좌우 이동 가능하게 설치되는 이동 광도파로와, 기판에 설치되어 이동 광도파로가 고정 광도파로에 대하여 접근 및 이격되도록 이동 광도파로를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 액튜에이터를 포함하여 구성됨.- 효과 제작공정의 공차를 크게 할 수 있으며, MEMS(MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS)를 이용하여 광스위치를 제작함으로서, 대량생산이 가능한 일괄공정으로 구현이 가능함.