일반기술

능동형 마이크로 냉각기

본 기술은 마이크로 냉각기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 컴퓨터의 마이크로프로세서장치(Micro Processer Unit: MPU)나 이동통신기기의 집적회로와 같이 크기가 작으면서도 많은 양의 열을 발생시키는 반도체 칩의 온도를 반도체 칩의 성능에 영향을 미치지 않을 수 있는 온도로 유지하기 위한 마이크로 냉각기에 관한 것이다. ○ 기술 개요 및 특징: 본 기술은 열원에 직접 부착되어 냉매를 기화시키는 증발기, 기화된 냉매 기체를 흡입하여 압축하는 압축기, 압축된 냉매 기체를 응축시키면서 냉매로부터 열을 방출시키는 응축기, 응축된 냉매가 증발기로 유입되도록 하는 도관, 및 도관 상에 구비되어 응축된 냉매를 팽창시키는 팽창밸브로 구성되는 능동형 마이크로 냉각기에 관한 것이다. 증발기와 응축기에는, 둘레에 벽이 있는 판상 부재 위에 열전달 증진 수단이 구비되어 있고, 냉매가 이동하기 위한 소정 개수의 채널연결부가 형성되어 있다. 본 기술에 따른 능동형 마이크로 냉각기에 의하면, 비교적 구조가 간단하고, 수동형 냉각기에 비하여 냉각용량이 크며, 구동수단으로 피에조 엑츄에이터를 사용함으로써 컴퓨터의 MPU와 같은 반도체 칩 크기가 되도록 작게 제작하여도 정교한 동작을 얻을 수 있는 마이크로 냉각기를 구현할 수 있다.