일반기술
고속 주사탐침 현미경용 고주파 진동 탐침
본 기술은 고분해능 원자힘 현미경의 주사속도가 늦은 점을 고주파수 수정진동자를 이용하여 주사속도를 전자현미경 정도의 속도까지 향상시키려는 것이다. ㅇ 기술 요약 및 특징: 본 기술은 주사탐침 현미경(SPM)용 고주파 진동 탐침에 관한 것으로, 고유진동수가 1MHz ~ 100MHz의 범위이고, 두께가 0.01mm ~ 2.0mm의 범위인 고주파 수정진동자와, 수정진동자에 부착된 전극과, 수정진동자에 부착된 탐침을 포함하여 구성되는 원자현미경용 고주파 탐침 진동 소자를 제공한다. 본 발명에 의하면, 시료 표면을 이동하는 진동 탐침의 주사 속도가 크게 개선되어 실시간으로 관측 뿐만 아니라 움직이는 물체의 관측도 가능하게 된다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 분광학(C13, C44)
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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