일반기술
전계효과 트랜지스터 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 전계효과 트랜지스터 제조방법에 관한 것이다.기술의 효과 - 본 기술은 소자의 활성층을 화학기상 층착법이나 이온주입법이 아닌 확산법을 이용하여 형성함으로써 불순물의 급준성을 줄이고, 공정의 생산단가를 낮출 수 있도록 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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