일반기술
평면 마이크로 가공기술을 이용한 적외선 어레이 센서 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 평면마이크로 가공기술을 이용한 적외선 어레이센서 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판과, 기판과 양측이 접하며 기판과의 사이에 단열을 위해 외부와 접하도록 형성된 공간부를 가지는 지지대, 지지대의 소정영역에 형성된 다수의 센서로 이루어진 센서부, 센서부를 제외한 나머지 지지대의 소정부분에 기판과 지지대 사이에 식각용액이 침투되어 기판과 지지대 사이의 물질을 제거하도록 형성된 식각 창 등으로 구성되어 있는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 식각창을 사용하여 이를 통해 기판과 지지대 사이의 희생층을 제거하여 두 구조물 사이에 공간을 확보하여 열손실을 최소화함으로써 제조공정을 단순화하여 제조가 용이하며, 공정시간이 단축되고 열감지 특성이 개선되어 미세한 온도변화도 감지하여 적외선 이미지를 구현할 수 있는 효과를 도출한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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