일반기술
수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치
본 기술은 자외선을 이용하여 기판 위에 패턴을 형성하는 노광 장치에 관한 것으로서, 특히 마스크의 정렬 작업이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 구성된 수직형 노광장치의 마스크 정렬 장치에 관한 것이다.- 특징마스크와 기판 홀더가 수직으로 세워진 상태에서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다.X축 및 Y축 정렬기구를 통해 마스크의 위치를 보다 정확히 조정할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 정렬 작업이 용이해지고, 패턴 형성 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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